诏安用于测量金属的和其它材料的表面加工痕迹的显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：6 发布日期：2026-04-20
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用于测量金属的和其它材料的表面加工痕迹的显微镜干涉显微镜 干涉显微镜是用于测量微观不平度的干涉仪，或用于测量金属的和其它材料的表面加工痕迹的干涉仪。如像在检查表面形状那样，按干涉条纹的弯曲量来测量微观不平高度。而用于测量表面微小不平高度的光学仪器应具有高放大倍数和分辨率。因此干涉显微镜实际上是干涉仪(通常是迈克尔逊干涉仪)和显微镜的结合。装在生物显微镜上的一个套筒，有一个显微物镜装在干涉仪的外面，放大倍数不大(至200倍)。仪器的第二方案已经采用两个显微物镜，分别装在干涉仪的两支光路中。这样，可采用大孔径的物镜，并得到较高的放大倍数至500倍)显微物镜孔径的作用 为了分辨出被检表面的狭窄痕迹(宽度小于1微米)，仪器的放大倍数应不低干500倍，而物镜的孔径要尽可能大。但是，大家知道，于L径增大，干涉图样的对比度就降低，干涉条纹的分度值就增大，也就是干涉显微镜的灵敏度减小。当仪器的分辨率不起主要作用时(例如在测量阶梯高度时)，公式才是正确的。但是在测量窄刻线的深度(特别在表面微观峰谷的夹角很小时)，物镜孔径越大，越接近于真实深度，因为当用小孔径物镜工作时，有些划痕的底部“模不到”。在这种情况下的测量误差与物镜的孔径、刻线的轮廓角和其他一些因素的相互关系还研究得不够。 孔径的作用有定性的解释。在大孔径物镜和小孔径物镜两种情况下，同样一条刻线得出不同的干涉条纹。在这两种情况下，干涉条纹都复现刻线的轮廓，但是在种情况下，刻线壁分离得很深，可是在第二种情况，刻线壁几乎与其片基联成一片。可是条纹的断裂深度在两种情况大致相等。
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