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诏安精密加工面形测量-光学式粗糙度测量显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：6 发布日期：2026-04-20
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精密加工面形测量-光学式粗糙度测量显微镜 超精密加工技术追求的是精度极限，随着品质的稳定和需求的增大，对高效率加工的要求也就越来越高。在高效率加工同时，为不保证加工精度，须对工件精度进行测量。然后及时将结果反馈回控制程序，对工件进行补偿加工，从而进一步提高工件的加工精度，显然，精密测量技术在超精密加工中占据了重要的地位。 在常用的超精密形状测量法中，利用光干涉的面形测量法运用的最多。干涉测量法的应用前提是必须要保证基准元器件的精度，但如何保证其精度是现在面临的主要问题之一。而且目前非球面形状的干涉测量法仍旧不成熟，这也是现在需要解决的关键问题之一。鉴于干涉法对振动或环境的适应很弱的情况下，该测量方法更倾向于大型化的光学系统测量，而不是倾向于微型的光学测量或机械测量。与此相对应的是，扫描测量方法可以实现球面或平面，以及非球面等多种形状的简单在线测量。
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