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诏安标题：光学显微镜不同分辨力和不同视场情况下测量需要不同
所属分类：新闻资讯 点击次数：38 发布日期：2026-04-21
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光学显微镜不同分辨力和不同视场情况下测量需要不同
光学车间检测
扫描隧道显微镜
在扫描隧道显微镜(STM)中，金属的针尖向待测导体或半导体表
面靠近，直到能够在针尖和待测表面之间检测到隧道电流。为了“
感知”隧道电流，必须在针尖和待测表面施加电压。为了达到原子
量级的分辨力，针尖仅有一个原子和测试表面产生相互作用。只有
当针尖到表面的距离小于1nm时，才能成功感知到隧道电流。探针
离表面的距离越近，隧道电流就会呈现指数规律增长℃．1 nm的距
离变化，就会使隧道电流变化达到10个数量级，这也使STM具有了
原子量级的测量灵敏度。利用压电陶瓷(PZT)可以将探针控制在待
测表面上方几十埃(A)的空间范围内，并呈光栅模式扫描。STM只能
检测导体的表面，这限制了它的应用，其图像的分辨力很大程度上
依赖于针尖的几何形状
就像光学显微镜在不同分辨力和不同视场情况下测量需要不同
的放大倍数一样，STM在使用时，为了改变横向、纵向分辨力和扫
描范围，需要对扫描头使用的探针大小和扫描范围进行选择，较大
的STM扫描范围与高倍光学轮廓仪及高分辨力的探针轮廓仪的测量
范围相互有交叉。由于STM需要能导电的待澳4表面来产生隧道电流
，像玻璃这种物质就不能被测量。