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诏安标题：磨粒粒度研磨加工表面质量测量光切显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：45 发布日期：2026-04-21
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磨粒粒度研磨加工表面质量测量光切显微镜
常规超声研磨加工
当工具在轴向的进给运动和超声振动方向平行时，这个方法
称为常规超声研磨加工，可以用于钻孔加工和特定轮廓加工。在这
种情况下，必须使用成形工具，工具的轮廓将被复制到工件上一艘
睛况下，加工时首先要根据期望达到的材料去除率和表面质量来选
取合适的磨粒粒度，然后由磨粒粒度可以决定相关的作用力和振幅
。至于进给速度，由两方面来决定：一是由固定的加工速度所决定
的进给；二是满足固定加工力的由力控制的进给。一般情况下，超
声研磨加工采用由固定力决定的进给速度。磨粒的补充和去除通过
专用磨粒调节设备，使磨粒均匀分布在切削液中。
在所有工艺参数中，加工压力、进给功率和振幅对加工结
果的影响最为明显，而其它参数，如工具和超声头的连接方式、工
作液压力等，没有显著影响。加工参数对加工结果起作用主要通过
影响加工间隙的大小、主导去除机理以及加工间隙的冲刷环境。
1．振幅
工具的振幅决定了加工过程中工作间隙的更大高度以及冲击
力的大小，原则上讲，振幅的增大会导致材料去除率的增加。另一
方面，表面质量和振幅的关系大家的观点不太一致。发现随着振幅
增大引起了表面质量的明显降低他认为是由于加工间隙里磨粒数量
的增多所造成的，但另外一些作者认为表面粗糙度和振幅之问没有
明显的关系。
如果振幅取的太小，磨粒被压人工件表面的深度不足，导
致材料去除率减小。不断增加振幅，材料去除率也将不断增大，直
到临界值。当振幅继续增加时，由于工具无效路径的增加，导致冲
击不能传递到工件，因此材料去除率反而减小
2．加工压力
振幅的选取影响更大去除率和表面质量，而加工压力只影
响去除率。加工压力的选定决定了工作区里施加到磨粒上的压力。
加工压力的增加导致冲击力的增加，从而使材料去除率增加。但当
加工压力太大时，工作区磨粒易碎裂，从而将减小对工件的冲击。
3．研磨剂
在超声加工中，由于和工件表面直接接触，几何形状不规则
的研磨颗粒具有至关重要的作用。在选择磨粒时，磨粒的硬度必须
要高于被加工材料，并且具有足够的耐压强度以抵抗加工过程中不
断上升的压力。碳化硼比较适于作磨粒材料，因为它抗碎裂能力高
于碳化硅，并且比金刚石便宜。在工程实际中，既要保证高的材料
去除率，又要得到高的表面质量，折衷考虑，一般采用40微米。50
微米粒度的磨粒。