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北京上光仪器有限公司回复：

电子显微镜主要是利用高加速电压之入射电子束打击在试片后，产生相关二次讯号来分析各种特性，，一般的二次讯号包括直射电子、散射电子、二次电子、背向散射电子、Auger电子及X射线等。电子显微镜的发展以穿透式电子显微镜（TEM：Transmission Electron Microscope）为最早，在1931年即已提出；扫描式电子显微镜（SEM：Scanning Electron Microscope）则在1935年提出。由于早期发展的SEM解析度未臻理想，影像处理及讯号处理技术无法突破，一直到1965年以后，SEM才正式普获研究学者的青睐。此后SEM的发展相当快速，不但机台性能的大幅提高，且各项材料分析附件日益增多，应用的范围也不断地扩大，几乎包含各个研究领域，目前应用在材料、机械、电机、电子材料、冶金、地质、矿物、生物医学、化学、物理等方面最多。

扫描式电子显微镜由于景深（Depth of Focus）大，对于研究物体之表面结构功效特别显着，例如材料之断口、磨损面、涂层结构、夹杂物等之观察研究。近年来由于技术的进步，SEM已将电子微探仪 （Electron Probe Micro-analyser；EPMA）结合在一起（两者主要功能之比较表请见表3-4），在观测表面结构时，能够同时分析显微区域之定性及定量成份分析，使得扫描式电子显微镜成为用途最广的科学仪器之一