微分干涉显微镜的原理和应用

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所属分类：显微镜百科点击次数：889 发布日期：2022-05-09

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微分干涉显微镜的原理和应用

微分干涉显微镜，主要为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子压痕检查，以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析，具有成像清晰，工作距离长，使用便利。

微分干涉显微镜是以平面偏振光为光源，光线经棱镜折射后分成两束，在不同时间经过样品的相邻部位，然后经过另一棱镜将这两束光汇合，从而样品中厚度上的微小差别就会转化成明暗区别，增加了样品反差，造成了标本的人为三维立体感，类似大理石上的浮雕。

微分干涉显微镜主要是用来鉴定和分析金属内部结构组织，是金属学研究金相的重要仪器，是工业部门鉴定产品质量的关键设备，专门用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的微分干涉显微镜。

这些不透明物体无法在普通的透射光显微镜中观察，故微分干涉显微镜和普通显微镜的主要差别在于前者以反射光，而后者以透射光照明。

不仅可以鉴别和分析各种金属、合金材料、非金属物质的组织结构及集成电路、微颗粒、线材、纤维、表面喷涂等的一些表面状况，微分干涉显微镜还可以广泛地应用于电子、化工和仪器仪表行业观察不透明的物质和透明的物质。

如金属、陶瓷、集成电路、电子芯片、印刷电路板、液晶板、薄膜、粉末、碳粉、线材、纤维、镀涂层以及其它非金属材在微分干涉显微镜中照明光束从物镜方向射到被观察物体表面，被物面反射后再返回物镜成像。

所以用微分干涉显微镜来检验分析金属内部的组织结构在工业生产中是十分重要的。它有着非常广泛的适用空间。

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