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如何以纳米级精度测量微小零件复杂的表面几何形状？
所属分类：显微镜百科 点击次数：178 发布日期：2022-06-06
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以纳米级精度测量复杂表面几何形状的微小零件
不断小型化是半导体行业的长期发展趋势。微小部件的生产和质量控制对测量技术提出了挑战。
在微机电和光学元件的生产中，产品良率取决于复杂表面几何形状尺寸的一致性。由于微系统技术中的产品设计通常是三维的，因此不能简单地用传统的二维光学视觉系统进行检测。传统光学技术以及接触式测量仪很难测量出高深宽比的结构。而这些正是NanoFocus测量系统的优势所在。
应用
利用μsurf、μscan和μsprint，可以在制造过程的各个阶段通过非接触无损方式测量并自动评估微部件的几何形状。在机械、光学及化工行业，NanoFocus测量系统帮助制造商在生产过程中降低成本同时提高良率。
压力传感器
在通过蚀刻生产高压传感器时，需要检查各种几何参数，例如深度、宽度和层厚度以及粗糙度，进而对工艺参数进行配置。使用μsurf一次测量即可获取表面粗糙度、支柱的微观几何尺寸以及金属表面的涂层厚度等信息。
菲涅尔透镜
在检测玻璃表面的亚微米结构时，要求即使在弱反射的情况下，测量仪器可以稳定测量同时保证高分辨率。适用于各种表面特性的μsurf完全满足上述要求。
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