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干涉仪是用于测量光束传播变化的器件
所属分类：显微镜百科 点击次数：600 发布日期：2022-06-20
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干涉仪是用于测量光束传播变化的器件 干涉仪 干涉仪是用于测量光束传播变化的器件，例如传播路径长度或波长。通常，该类传感器具有一个光源(如激光LED)和两个独立光纤。光束被分离并耦合到两个光纤中，待测量对光信号进行调制，通过与参考光信号进行对比，可检测出待测量的大小。有四种干涉仪结构：法布里一珀罗(Fabry—Perot)干涉仪、马赫一曾德尔(Mach—Zehnder)干涉仪、迈克尔孙(Michelson)干涉仪、萨奈克(sa．gnac)干涉仪。该类传感器通常用于测量物理量，例如温度、速度、振动、压力和位移。 由于光学传感器直接或间接利用光进行测量，具有许多其他传感器不可比拟的优势。但是这些优点是针对特定应用而言的 半导体传感器 由于半导体传感器具有成本低、稳定性好、功耗低、使用寿命长、小型化等特点，应用越来越普遍。该类传感器应用范围非常广泛
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