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MEMS陀螺仪测量单轴或多轴旋转的角速度
所属分类：显微镜百科 点击次数：617 发布日期：2022-06-20
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MEMS陀螺仪测量单轴或多轴旋转的角速度 加速度计 有五种形式的运动传感：加速度、振动(周期性加速度)、冲击(瞬间加速度)、倾斜(静态加速度)和旋转。除了旋转，这些运动形式都可以用加速度计进行测量。因此，加速度计得到了广泛的应用，从设备跌落过程中触发硬盘保护系统，到游戏中的手势识别等。MEMS加速度计通常可以是电容型或压阻型的。电容型加速度计由粘贴在基底上的固定金属板和粘贴在框架上的可移动金属板组成。加速度带来的框架位移，导致差分电容的变化，从而被板上电路测量得到。电容型加速度计具有较高的灵敏度，应用于低幅度、低频率器件中。压阻型加速度计包含一个电阻材料，它与悬臂梁结合在一起，悬臂梁将随着加速度的出现而发生弯曲，从而使电阻材料发生变形，产生一个与加速度大小相关的电阻变化。压阻型加速度计‘更加坚固耐用，可应用于需要更高幅度和频率响应的场合 陀螺仪 MEMS陀螺仪测量单轴或多轴旋转的角速度，。陀螺仪可以准确地测量自由空间中的复杂运动。它们不采用需要轴承的旋转部件，因此更易于采用半导体加工工艺对其进行小型化和批量生产。几乎所有的MEMS陀螺仪都利用振动机械元件(检测质量)来感知旋转，通过感知由科里奥利(Coriolis)加速度引起的同z一结构的两种不同振动模式之间的能量转移来实现。
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