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斜率误差可直接测量得到或从干涉条纹中计算
所属分类：显微镜百科 点击次数：96 发布日期：2022-06-20
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斜率误差可直接测量得到或从干涉条纹中计算 斜率误差直接取决于波阵面的形状．而不是其相位。因此，当TWF和RWF的值与波纹度的空间频率无关时，斜率误差与波纹度空间频率成正比。 斜率误差可以直接测量得到或从干涉条纹中计算出来。斜率直接测量法对相位不敏感，但比采用干涉测量法更快捷、更便宜。 系统误差的评测相对简单，因为每个因素的误差贡献可以通过和方根(RSS)方法进行分配。 传统的全口径光学制造方法产生较少的波纹度，这导致子孔径的加工方法也相当有保证．如磁流变抛光(MRF)、射流抛光、柔性抛光或单点金刚石车削。由于这些加工设备的使用越来越普遍，斜率测量仪器也广为人知，非球面偏离量也在增加，我们期望在车间能有更多斜率公差可供参考。 空间频率带宽的选择是相对的，它必须始终与测量仪器的测量能力相匹配。
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