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微机械机理-表面微加工技术分析显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：186 发布日期：2022-06-20
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微机械机理-表面微加工技术分析显微镜 科学技术的发展使人类在探索宏观世界的同时，也在向微观世界进军。1965年诺贝尔物理学奖的获得者、物理学家费恩曼(Richard P．Feynman)教授曾敏锐地观察到了这一领域在科学技术方面潜在的巨大推动作用。他曾在1959年的美国物理学会年会上发表了极富有远见且具有开拓性的重要报告，“There’SPlenty of Room at the Bottom”，他在报告中预示了制造微小器具技术的出现，可以采用大型机器来制造比自己体积小的机器，而这小的机器又可以制造更小的机器，这是一条自上而下(Top．Down)从宏观到微观的发展途径。同时，他还论述了人们可以按照希望的方式以原子、分子为模块来构筑各种物质，这是一条自下而上(Bottom—Up)由小至状的新途径。而且文中一些涉及微机械机理的观点至今仍是该领域的重要研究课题。 微机电系统是以半导体(特别是硅)为材料，以IC(集成电路)加工技术为手段，以固态物性传感器为背景发展起来的。20世纪80年代中期，美国加州大学Berkeley分校、威州大学Madison分校等单位研究出了表面微加工技术。他们以多晶硅薄膜作为结构材料，以磷硅玻璃作为牺牲层，制成了多晶硅压力传感器、硅梁和连杆等微机械运动部件。1987年美国加州大学Berkeley分校研制出了转子直径为60t_Lm～120斗m的硅静电微马达， 微机电系统在继承和发展微电子技术的基础上，通过微型化和集成化来建筑新的工作原理、新的功能、新的材料、新的结构、
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