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多种不同微电子工艺可用来制造常见的微电子器
所属分类:显微镜百科 点击次数:197 发布日期:2022-06-20
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多种不同的微电子工艺可用来制造常见的微电子器 微细加工技术 现在,已有多种不同的微电子工艺可用来制造常见的微电子器件,如运算放大器、逻辑门电路、微处理器等。其中许多工艺技术,有时甚至是全部标准工艺,对开发、生产微传感器都是很有价值的。例如,可以用标准双极工艺制造热微传感器,因为双极工艺制备的p-n结二极管,其在电流不变时的正向电压,或n—P-n型晶体管的基极一发射极间电压与温度有一定的比例关系。制造常用二极管和热敏二极管的工艺几乎没有什么不同,主要差别是器件的设计,或许最后的封装也有些差别。在大多数实际情况中,最理想的是,只要可能就尽量利用标准工艺流程,或者在标准工艺流程之外,或在线工艺中插入一到几个非标准工序。集成到什么程度,这是一个苛刻的设计问题,所以设计者往往首先考虑混合电路的解决方案,但其中也将借用标准微电子工艺及其封装技术。将微电子电路集成到MEMS中去也是一个难以决断的问题,因为其最终产品很复杂。所以本书将论述各种可能的技术途径,甚至包括首先从微电子学着手,还是首先从MEMS着手等问题。为此在本章及以后几章中先扼要地介绍标准微电子工艺,以及需要增加的其他非标准材料和工艺技术。
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