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光学零部件成像透镜样品分析图像显微镜
所属分类:显微镜百科 点击次数:155 发布日期:2022-06-20
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光学零部件成像透镜样品分析图像显微镜除了能够反映表面或零件的局部缺陷之外,干涉图像还反映了被测波前的像差值信息。这与测试系统的相差直接相关。这就需要根据干涉仪的配置类型来确定所有相差的来源。需要谨记.干涉图表示的是两束干涉光之间的差异。因此,两束光都经过光学零部件如成像透镜或扩束镜时.其像差不会引起干涉图变化。 这里.像差是指波面误差.是旋转对称的光学系统的本质属性。这些像差是理想球面波经各种各样变化后的实际波前。在干涉仪中.理想的球面波常常是一个平面波;它可以看作是一个有无限曲率半径的球面波。从干涉图得到的波面误差是测量平面的误差.测量平面与探测平面相对于成像透镜是共轭的。
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