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电子显微镜技术电子束的等效波长及数值孔径均较小
所属分类：显微镜百科 点击次数：210 发布日期：2022-06-20
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电子显微镜技术电子束的等效波长及数值孔径均较小扫描显微镜表面测量技术 与上述光学仪器不同，扫描显微镜没有光学物镜，图像的观察不是通过光学镜面，而是通过计算机图像监视器。有两种类型的扫描显微镜，电子显微镜(Electron Microscope，EM)和扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)。 电子显微镜的基本原理较为简单：从电子射源发出的电子经多级电磁透镜汇聚成极细小的电子束探针，之后将电子束探针入射至样品表面从而激发出各种信号，通过对这些信号的检测处理即可实现对样品表面的分析成像。．通常根据所检测信号的范围，将电子显微镜细分为扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)和透射电子显微镜(Tunneling Elec—tron Microscope，TEM)，机械加工样品都是大块基体，因此TEM并不适合于超精密加工表面形貌的检测。 SEM利用扫描线圈装置使电子束探针在样品表面进行栅格扫描，扫描的同时检测电子束所激发出的二次电子，通过二次电子的强度与被测表面形貌的关系获得表面的扫描电子图像。由于电子束的等效波长及数值孔径均较小，因而SEM具有纳米级甚至更高的空间分辨率
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