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精密机械全息光栅制造技术的应用-分析仪器
所属分类：显微镜百科 点击次数：121 发布日期：2022-06-20
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精密机械全息光栅制造技术的应用-分析仪器全息光栅制造 全息法和刻划法常瞻光栅是相互补充的两种工艺。全息法制造光栅的主要优点是：摆脱了对精密机械的要求，不需要严格的恒温环境，全息光栅无鬼线，刻划频率可做得很高，能提供可见光到远紫外的光栅，特别适用于凹面光栅的制造，但全息法制造衍射光栅时，由于其槽形不易控制，因此控制闪耀的性能较差，效率也较低，因此全息法较适用于高密度光栅(刻划密度高困难较大)及凹面光栅的制造。 全息法制造光栅就是将双光束干涉所形成的干涉条纹记录在光敏层上，经过适当的化学处理，得到如经典光栅相似的等间距的平行线条。一全息光栅的质量取决于这些线条的直线性，平行性及节距的准确度，而全息光栅的效率还取决于这些线条的槽形。 全息光栅虽然摆脱了刻划光栅的一些弱点，但在制造中也存在着不少困难，例如激光频率如何稳定，激光管功率如何增大，还有光致抗蚀剂的频谱响应和涂布阀题等。图像数据处理的核心在于初始码与变形码的比较。我们假设，变形后的码绝大多数仍保持原值，仅极少数码发生了差错。只要简单地剔除那些发生差错的码，就能对物体表形状有一个总体的了解。错码的剔除是通过比较初始码与变形码而实现的，这一部分的流程如图9—24所示。 编码光栅调常l法因光栅自身携带了线纹序号信息，因而具有其他方法所没有的一些特点：一是确定栅序所需的测量程序和计算量都大为简化，从而大大提高了测量速度，二是可用于测量阶跃表面的轮廓形状，因而更符合于工程应用的实际情况。
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