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表面检测中准确度和精度计量粗糙度轮廓仪
所属分类：显微镜百科 点击次数：148 发布日期：2022-06-20
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表面检测中准确度和精度计量粗糙度轮廓仪确定系统性能的术语和问题 所有的轮廓仪都需要进行仔细的标校，尤其是在测量诸如MEMS系统这样的微小对象时。不同外形的系统，其性能都是利用一些典型对象来进行标定，这些典型对象都可以在一些最基本的标准下给出了确切的测量值。 最为常用的一个典型对象是台阶，例如一个台阶对象用来进行垂直方向扫描的校准，同时一个刻蚀的二元光栅元件常用于标定横向放大率。其他的典型对象，如正弦型光栅或者不同粗糙度的表面也用于系统性能的校验。统提供的参考值进行比较是没有意义的。 在确定系统性能的同时，测量中还有两个非常重要的问题，分别是重复性和再现性。一般而言，重复性定义为在不改变系统的前提下，短时间内对测量对象的一个参数进行多次测量得到的1盯标准偏差。再现性是指在不同的测量条件下在一段较长时间内多次测量的结果分布。对一个系统的评价其实就是针对一个测量对象确定参数的重复性和再现性。检测的程序和给出的评价值应该给出清楚的说明，并为使用者和厂商认可，这也是很重要的。 在表面检测中有两个容易混淆的术语：准确度和精度。准确度是指测量值与真值之间的接近程度(如一个典型对象的测量值)。精度则指测量的分布状态，也可以用重复性和再现性来表述。
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