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高速计算机和固体器件为代表的新技术表面轮廓仪
所属分类：显微镜百科 点击次数：121 发布日期：2022-06-20
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高速计算机和固体器件为代表的新技术表面轮廓仪表面轮廓仪介绍 以高速计算机和固体器件为代表的新技术得以发展，同时针对越来越小的工程表面进行检测的需求也日渐增加，在这些因素的推动下，表面测量技术无论在技术成熟方面还是应用范围方面都得到了极大的发展。先进的照明光源，例如激光，以及通常使用的固体探测器和光电器件也对这一技术的发展起到了推动作用，使之不但能够用于描述表面形貌，而且能够用来确定诸如位移、散射等的一些其他特性。一些创新性的技巧和技术使得测量对象的范围得到了很大的扩展，因此针对那些高陡度、大台阶及深窄沟道的难度很大的面形也可以进行测量了。这些表面轮廓技术很多是由距离测量或焦距测定技术发展而来的，同时它们也往往需要进行扫描来获得面形轮廓。本章将介绍探针轮廓仪、扫描探针显微镜、共焦显微镜及干涉光学轮廓仪。这些仪器都被广泛应用于表面面形的测定，而且既适用于极小的典型工程表面，也适用于非球面和玻璃平板这样的光滑大面形检测。
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