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显微镜的分辨率取决于射到试样表面上电子束的直径大小
所属分类：显微镜百科 点击次数：112 发布日期：2022-06-20
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显微镜的分辨率取决于射到试样表面上电子束的直径大小 扫描电子显微镜的分辨率取决于射到试样表面上电子束的直径大小。最小的分辨距离大体上等于射到试样表面上的电子束的直径，因此人们希望尽可能地减小这个直径。电子枪起着扑电透镜的作用，它可形成一个直径约为60微米的灯丝图象。这个图象是电磁透镜的缩小目标，而且所有三个透镜(某些扫描电子显微镜只用两个透镜)都起缩小电子束的作用。第三个透镜1.3还使电子束聚焦于试样表面上。经过三个透镜后，射到试样表面上的电子束直径缩小到10毫微米(100埃)。该电子束以一条线表示，因而这些透镜的聚焦作用没有表示出来。但是，该图说明二组扫描线圈怎样使电子束发生偏转，以便在试样表面上进行扫描。放大倍数等于阴极射线管荧光屏上的图象宽度除以试样表面上电子束的扫描宽度，阴极射线管荧光屏的宽度是固定的，而试样表面上电子束的扫描宽度是由扫描线圈中电流的大小所控制的。
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