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高分辨率光学测量图像显微镜-光学分析
所属分类：显微镜百科 点击次数：136 发布日期：2022-06-20
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高分辨率光学测量图像显微镜-光学分析 高分辨率光学测量和结空间电荷技术都不能给出缺陷化学识别的信息。这种信息通常是由电子自旋共振(ESR)结合其他方法得到的，例如，当样品用不同能量的单色光照射时，将ESR谱与缺陷的能量位置关联起来。由于对不同光子能量，ESR激活中心的光子感生的价电荷变化有不同的时间关系，光发射率的能谱分布可以被测量并可以与从结空间电荷技术,得到的谱进行比较。 另一个识别缺陷的技术是根据这样的事实，即对于杂质的原子量小于基质晶体的原子量时，杂质的振动频率一般远高于声子频谱。由于强的空间局域化，这就会在红外区产生具有尖锐的光谱吸收带的振动模。结合同位素掺杂，于是可以识别某些缺陷中的有关原子。 而且，利用局域振动模(LVM)光谱与微扰相结合，例如极化探测光和单轴应力或静压应力，人们就可以测定络合物缺陷的结构。正是强有力的傅里叶变换光潜仪的发展，使得局域振动模光谱学的快速推广成为可能。 在元素和化合物半导体中已被成功研究的轻杂质的例子是氢、碳和氧。局域振动模光谱学在工业上也用于硅和集成电路生产中的各个阶段的控制。
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