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测量显微镜的整个仪器的设计制造和定制厂商
所属分类：显微镜百科 点击次数：125 发布日期：2022-06-20
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测量显微镜的整个仪器的设计制造和定制厂商 因为是测量微小的位移，所以基准部分的直线运动精度要在0.01微米以内。对于这样的机构和结构，特别要讨论下述几点。 (a)导向机构的导向装置像本仪器这样高精度测量显微镜的情况，过去予以忽略的导向而的摩擦，如前所述会成为振动源而影响测定值，作为尽量减少摩擦影响的机构， 因此，基准部分的运动，是X一Y平面上的圆弧运动。但是，测量距离更好是20微米左右。所以，如果从导向装置的旋转中心到测量点为止的距离(旋转半径)大些，就可以看作是近似直线运动。 (b)在检测部分采用了使用弹簧的触针夹持机构，这种.机构容易受到外部振动的影响，所以检测部分安装在固定支柱上，在运动部分安装被测物体的夹持装置，采用了对检测部分移动被测物体的方法。 (c)送进装置在测量显微镜的整个仪器中，是这种装置的更大的振动源。因此，把振动的产生抑制在更低限度的同时，重要的是要尽量使产生的振动不要传给基准部分，检测部分而进行这样的设计。为此，特别是从驱动部分向运动部分的基准移动台传榆动力的连结部分的机构设计会成为问题，
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