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透射电子显微镜依据其不同特点分为几种不同类型
所属分类:显微镜百科 点击次数:115 发布日期:2022-06-20
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透射电子显微镜依据其不同特点分为几种不同类型 透射电子显微镜依据其不同特点分为几种不同类型,如高分辨率电子显微镜(HRTEM) ,其特点是利用相位衬度可实现在原子间距尺度上晶体材料的结构分析; 又如扫描透射显微镜(STEM),它利用透射电子或散射电子成像,其空间分辨率比传统的透射电子显微镜高100 倍。 如果采集高角度散射电子,可以得到原子面的高分辨像甚至单个重原子像; 再如分析电子显微镜(ATM) ,它是一种集透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针显微分析仪三种仪器的功能为一体的综合分析仪器,它采用透射电子显微镜同样的薄试样和高电子加速电压,具有透射电子显微镜的全部功能,可对薄晶体进行衍衬和选区衍射分析; 它安装了电子束扫描系统, 借助偏转线圈可使人射束在试样表面作大面积扫描,并装备了各种信号( 二次电子、背反射电子和X 射线) 探测器可在阴极射线管荧光屏上获得二次电子像、背反射电子像和X 射线元素分布图,具有扫描电子显徽镜的功能; 采用强磁透镜使电子束会聚成极小探针( 约0.1 μm),可对试样上几纳米的区域进行电子衍射或X 射线能谱或电子能量损失谱分析,即可进行空间分辨率极高的成分、结构分析。也就是说可以在一次实验中同时获得同一区域的高放大倍率的形貌像、晶体学参数和化学成分等数据。
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