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精密加工工件表面粗糙度测量仪器-测量显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：255 发布日期：2022-06-20
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由于工业的快速发展，使得各种精密加工产业急遽增加，而加工物件的表面平整度与缺陷，也日益要求精细。而非接触式量测以光学法量测表面粗糙度，并不会对待测物造成破坏，也提供不错的解析度，即时性的量测优点，所以已经成为主流趋势。以下是一些光学法量测表面粗糙度的文献回顾。在1972年Robert A. Sprague[1]提出以空间相干光的概念，以测得表面粗糙度。空间相干光(具有宽的光谱的频宽)情况下，在一个透镜的成像平面附近形成一个斑点图案。当粗糙和光照度的相干长度大小可比较时，将会发现斑点的对比与表面粗糙有关。1986 年D. Pantzer 等人[2]提出用兩道同心光束(concentric beams)扫描待测物，利用兩道光的相位差，取得相对应的高度差。当理論的高度解析度到0.4nm，横向解析度可到3μm。 1998 年C. Chou 等人[3] 提出一个改良型的共光程外差輪廓仪，比Zeeman雷射更具有对称性及理想化的共光程结果，也可降低Zeeman 雷射的相位误差，其相位稳定度为±2%/h。实验表明系统垂直方向解析度可达0.2nm，而在27mm的扫描范围内，表面輪廓量测的重覆性可达到0.5nm。本文提出以表面电浆共振(SPR)结合共光程外差干涉术(Common-path Interferometry)來测量平板玻璃内部之平整度与缺陷。在本架构中，具有简化架构、即时性量测等优点
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