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工件轮廓动态三维表面量测的应用-测量显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：310 发布日期：2022-06-20
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工件轮廓动态三维表面量测的应用-测量显微镜崭新的动态三维表面轮廓量测方法，是根据傅立叶轮廓术(FTP；Fourier Transform Profilometry)与相移轮廓术(PSP；Phase Shifting Profilometry)所定义的一种可以达到即时量测的複合式条纹轮廓术(CFP；Composite Fringe Profilometry)，这是一种可以接近媲美PSP的量测精度，但是同时可以达到动态三维形貌量测之创新动态形貌量测技术。将不同相位的正弦条纹进行色彩编码，以组合形成一种具独特性的结构图案并且投影至物体表面上，利用高速影像单元取像，并且由特制的带通滤波器(band-pass filter)进行处理。能够以更高取像速度进行三维影像之重建能力(目前可达数百Hz以上)，主要原理乃利用FTP萃取出的RGB结构条纹并同步进行三步相位重建。在初步的验证阶段，本方法将可以达到接近于传统相移术的量测精度与重複度，并且可即时获得三维影像资讯的能力。针对标準阶高量测所产生之更大误差可控制在全高量测范围的1.231%以内，而準确度、精密度以及标準差可达到全高量测范围的0.744%、0.334%以及0.0387%。
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