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表明轮廓测量仪器常识-超细微探针显微镜
所属分类:显微镜百科 点击次数:195 发布日期:2022-06-20
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表明轮廓测量仪器常识-超细微探针显微镜AFM电子显微镜,配合使用超细微探针,探针尺寸可降低到10 nm以下等级,参考NIST之AFM量测线宽方法,变更为双倾斜影像叠合量测法,先将试片顺时针倾斜,此时探针扫描由左往右,量测影像之左侧为探针实际量测试片线宽之实际轮廓影像,再将试片逆时针倾斜时,探针扫描由右往左(量测影像,同样试片右侧轮廓为探针实际量测试片线宽右侧之几何形状,继之以影像叠合技术组合量测影像,叠合后,取次扫描之左测影像与第二次扫描之右测影像;在旋转试片时,以试片量测位置表面为旋转中心,所以旋转试片后,量测位置偏移很小(约为40 μm),能调整AFM扫描范围,所以二次量测都能在同一位置。影像叠合组合技术,是利用ICP(Iterative closest point)数学式,此法可算得两张图像相对应之旋转与平移矩阵,再撷取多张相近图像之迭代运算后可收敛出一张最接近之叠合影像。经影像叠合后之量测影像,需补偿修正探针之半径后,才能得到试片奈米结构线宽之实际形貌
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