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扫描电子显微镜应用于极细微元件测量
所属分类：显微镜百科 点击次数：184 发布日期：2022-06-20
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扫描探针显微技术(Scanning Probe Microscope，SPM)在结合奈米制造技术后所研发出奈米量测技术 最新的成果。因为奈米元件在制造过程中(奈米制造技术)以及各种 相关技术的发展上都会需要量测做支援，所以观测奈米元件的技术 (奈米量测技术)对整个奈米技术的发展是不可或缺的。以这种观点为出发点，期待扫描探针显微技术(SPM)可以发展成将奈米量测技术、奈米制造技术以及探索奈米级物质特性技术这三种技术加以融 合重整为一多功能整合性技术。
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