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精密量测非均质材料表面轮廓测量光学显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：239 发布日期：2022-06-20
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精密量测非均质材料表面轮廓测量光学显微镜传统相移干涉式的显微镜怎样準确量测非均质材料表面，须外加椭偏仪做量测校準。此一做法使得量测时的不準确度增加，且无法做到全域性的量测。如何建立一套全新的多功光学显微系统，结合低成本之光学显微镜爲基础，在已开发完成之结合共焦显微镜与光子穿隧显微镜之多功显微系统上，加上Mirau干涉式的显微镜与精偏仪架构，以达到精密量测非均质材料表面轮廓之目的。论文中并将探讨全域性Mirau干涉式的显微镜与精偏仪之各种量测架构，以及如何结合创新相位重建技术－织锦式细胞自制演算法与精椭参数的校正于此一全新量测系统之各项步骤。最后并利用实验来验证此系统架构的可行性。
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