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扫瞄穿透式电子显微镜-试片厚度或物镜像差
所属分类：显微镜百科 点击次数：268 发布日期：2022-06-20
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高角度环状暗场影像技术为在电镜系统中加装一个高角度环状暗场的侦测器，主要负责侦测50~150 mrad之高角度散射电子而成像。此高角度散射电子机率一般来说正比于原子序平方，也就是指原子序越大，散射机率越高。故此种影像讯号强度大约与材料原子序的平方成正比，所以又称为原子序对比影像 (Z-contrast image)[2][3]。因此若是在扫瞄穿透式电子显微镜的原子级解析度下透过侦测器接收讯号，即可大概分辨出原子彼此间的差异。此外，由于HAADF的成像主要是由入射电子所撞击到的试片原子其原子序所影响，所以HAADF image较不会受到Dynamical Diffraction的作用，对于试片厚度或物镜像差、散焦，也不会有明显的改变。其空间解析度主要是由所聚焦的入射电子束大小所决定。
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