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电子式微开关、微阀-薄膜制程技术，测量工具显微镜
所属分类：显微镜百科 点击次数：286 发布日期：2022-06-20
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一种热挫屈线性致动微结构（thermally buckling microstrutrue），系利用隔离技术在微结构的两端产生热氧化的隔离层，或沈积热膨胀系数较大的材料，或减少热传导面积，使在微结构的两端得到较大的热应力，且较均匀地加热于薄膜结构，使之产生热挫屈变形，进而使薄膜式微结构的变形量可随外界输入之功率成线性比例放大。此微结构使用薄膜制程技术制作成薄膜式（membrane type），未来可应用于电子式微开关、微阀、微帮浦等装置上
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