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磨粒的特性直接影响工件抛光结果的原因！
所属分类：显微镜百科 点击次数：219 发布日期：2022-06-20
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完美的抛光表面包含了低粗度、低变质层等特性，除了完美的抛光表面外，也希望有方法可以提高抛光的工作效率。由于抛光是磨粒对工件表面进行加工，因此磨粒的特性，如与工件间的吸附能力、磨粒刚性与磨粒外型，就成了直接影响加工结果的原因。为了能够深入了解这些变数的影响，所以使用分子动力学进行电脑模拟。为了顾及电脑模拟的效率与度，在模拟刚性过程中所使用的积分时间只有 ，定使用移动分界法以节省模拟时间。对于刚性与吸附系数的调整，则是利用修改位能函数的方法来达成模拟。对于磨粒外型，则又因其运动型态的不同分为磨粒滑动时之外型与滚动时之外型两种。模拟结果发现刚性对于以滚动为运动状态的磨粒，其变质层并无明显的趋势；滑动的磨粒如果其刚性越小，则变质层表现会较好。但是如果因为刚性过弱，而使磨粒产生严重变形时，则其变质层与表面粗度都会很差。在磨粒滑动之外型的模拟，如果前方角度较大，在低吸附系数下会因有较多的表面原子可移动到磨粒底部，而增加其变质层原子数与深度；如果底长变长，则会因接触面积较大，使变质层变多。磨粒滚动时之外型的模拟，坑洞磨粒由于其几何外型的因素，与圆球磨粒相比，只需较小的吸附系数就可黏附起工件原子以增加移除量，但其表面粗度较差。 选用刚性低、接触面小与前方角度大的磨粒可以降低变质层厚度，但其表面粗度会因此变差；选用凹凸不平的磨粒则可以增加移除量，但其表面粗度也会变差
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