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请问一下干涉显微镜应用范围
所属分类：显微镜百科 点击次数：265 发布日期：2022-06-20
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请问一下有人知道干涉显微镜"应用"在哪些方面吗?
程双频直线度同轴度测量激光干涉显微镜： 准直测量方法及准直测量干涉显微镜主要用于解决机械製造和安装中的准直测量问题。例如：汽轮机、水轮机、发电机的同轴度，不连续重型电机镜板的平面度，超长导轨的直线度等。这些测量要求激光准直仪应具有以下特徵：能连续测量也能间断测量，间断测量是指测量过程需要传感器离开光路后又再回到光路中（光路被挡住后又恢复）同时又不影响测量结果，这是同轴度和有孔镜板平面度测量必须的；对激光束的平漂和角漂不敏感；对大气扰动不敏感。在0-30m 距离能保持1ppm的不确定度，1微米的分辨率。以前的激光准直仪没有能达到前述要求。从非线性动力学的高度对大气扰动进行了理论和实验研究，得出了偏离 '共路'的程度和补偿可能性之间的定量规律；提出了小分束角的双渥拉斯顿干涉显微镜设计，在30m处8mm光斑中心只分开2.6mm；从理论和实验上证明端部反射镜应採用直角稜镜而不能採用四面体或猫眼才能保证对平漂和角漂的抑制；准直测量分辨率1微米、量程达到3.6mm
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