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STEM为扫描穿透电子显微镜-场发射式TEM加装了扫描线圈与环状暗视野侦测器
所属分类：显微镜百科 点击次数：359 发布日期：2022-07-01
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TEM的配备仪器TEM可以搭配额外的仪器或配备以提升或增加它的性能，如STEM、HAADF、EELS和EDS，STEM为扫描穿透电子显微镜，全名是Scanning Transmission Electron Microscopy，场发射式TEM加装了扫描线圈与环状暗视野侦测器(Annular Dark Field Detector, ADF)就成为了STEM，图3.4.41为STEM的基本架构图，一般的TEM是利用物镜光圈与入射电子束相对位置的改变来取得明暗视野的影像，而STEM则是利用不同角度的侦测器来区分，如图3.4.42，明视野影像侦测器与电子束的夹角小于10mrad，而环状暗视野侦测器则介于10到50mrad间，至于高角度环状暗视野侦测器(High Angle Annular Dark Field Detector, HAADF)则是大于50 mrad
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