工件表面的宏观轮廓有几何形状误差的表面无法测量

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所属分类：显微镜百科点击次数：128 发布日期：2022-05-08

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和工件表面的宏观轮廓有几何形状误差的表面无法测量

导头半径：一般希望导头曲率中心运动的轨迹应和工件表面的宏观轮廓相一致，这在光

洁度粗距足够小时是可以达到的。若粗距增大或导头半径过小，则导头将随着粗糙度的起伏

而上下运动，给测量带来误差。特别是在目前的结构中触针和导头与工件的接触点之间具有

一定距离(3 mm左右)，更造成相位上的误差。若导头半径过大，一方面在结构上不易保证

它和被测平面平行贴合，另外也可能把宏观几何形状误差引入测量结果。实践表明，导头半

径在R 25 mm左右时，对V9以上表面具有良好的效果，也就是说使用导头与不使用导头(让

传感器与驱动箱中的滑架刚性固定，沿直线导轨运动)，其测量结果相近。考虑到宏观轮廓可

能使传感器的工作进入非线性区，同时为了减小周围振动对测量结果的影响，还是以使用导

头为好。在测量具有较大粗距的较粗糙表面时，上述相位误差比较显著。若不使用导头，对

具有几何形状误差的表面无法测量。对于这种情况，我们另：用了近距离并列式旁向导头

(使导头与触针并列，相距0．05一0．1 mm)做过试验，取得了良好效果。

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