6JA型干涉显微镜的工作原理简介-光学仪器常识

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所属分类：显微镜百科点击次数：178 发布日期：2022-05-08

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干涉显微镜的工作原理与结构

6JA型干涉显微镜的工作原理：光源经聚光镜、干涉滤

光片，再经另一聚光镜，投射到反光镜上，随后通过孔径光阑和视

场光阑，经照明聚光镜投射到分光板把投射在它上面的光束分成

两部分，一部分透过，一部分反射。从分光板透过的光束，经补偿

板被物镜会聚到其焦面处的被测表面(即工件测量面)上。最后被

该表面反射，重新通过物镜和补偿板，到分光板。

另一部分光束从分光板反射到物镜，再到参考镜(即标准镜面

上)，由标准镜面反射后，重新由物镜到分光板。

两部分返回的光束相遇后发生干涉，在无穷远处形成鲜明的

干涉带。调节可调反光镜，将它移到目镜的焦平面上。于是，通过

目镜就能观察刭干涉带及被测表面的影象。

仪器照相时，可以把反光镜从光路中移出，光线就直接在照相

反光镜上反射后射向物镜和照相底片上。

两组物镜是完全一致的物镜。

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