光学仪器和测量图像显微镜-显微图像仪

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所属分类：显微镜百科点击次数：114 发布日期：2022-05-08

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光学仪器和测量图像显微镜-显微图像仪

激光测量系统通常包括:

1)激光头。

2)干涉仪及其相关反射镜。

3)测量接收器和测量与控制电路。

某些测量不能直接将干涉仪输人光圈对准激光头。因此，这类系统还将包括

各种光束定向光学部件。此外，系统还可能包括环境遥感和/或波长跟踪，来进

一步测量补偿由于环境参数变化随之而来的激光波长的变化。激光器的激光头用

做光束和参考频率源。光学仪器和测量接收机使用激光束产生的测量信号。参考

和测量信号与环境传感器信号一起测盘电路产生的线位移信息。系统控制器可以

读取和显示此位移信息。此外，测量电路输出实时信号表示一个目标和实际位置

之间的差。此误差信号可使伺服电子系统直接驱动伺服电动机。激光测量系统示

从参考和测量接收器产生的均衡信号通过测量和控制卡获得。卡的一个功能

就是通过读取和适当调节共模信号来减少外部噪声。另外，可进行信号插值来提

高分辨率。测量和控制卡一般包括波长补偿功能。激光测量系统的精度受到相关

环境参数变化的影响，如环境温度、压力和相对湿度变化。因为激光的波长是测

最长度的标准，对这些特征参数敏感。波长偏差可以根据各种环境传感器的测量

估算，然后得到手动或自动的补偿。

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