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光波导的制作-专业光学设备厂家
所属分类：显微镜百科 点击次数：131 发布日期：2022-05-08
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光波导的制作流程
光波导的制作流程与积体电路的制作流程相似，我们以脊形波导为例，说明如何在玻璃上成长脊形波导。
1.在玻璃表面成长一层气化矽厚膜(厚度大于1m)，形成“玻璃／氧化矽”的两层结构，
2.将“氧化矽／玻璃”放入光阻涂佈机(Spin coater)，在表面涂佈光阻层，形成“光阻／氧化矽／玻璃”的三层结构，
3.将光罩放在“光阻／氧化矽／玻璃”上方进行光罩图形转移，注意光罩的图形是要让紫外光穿过左右两个区域。被紫外光照射过的区域，光阻化学键结被破坏，使光阻很容易被化学药品溶解掉。
4.将“光阻／氧化矽／玻璃”放入“显影液”中反应，化学键结被破坏区域的光阻会被显影液溶解，
5.将“光阻／氧化矽／玻璃”放入乾式蚀刻机中反应，使用微波产生带负电的“氟气体离子”，另外在矽晶圆上外加正电压，吸引带负电的氟气体离子加速射向氧化矽。没有光阻保护的区域氟气体离子会与氧化矽反应而使氧化矽去除掉；有光阻保护的区域氧化矽受到光阻的保护而保留下来。
7.将“光阻／氧化矽／玻璃”放入“去光阻液”中反应，有光阻存在的区域光阻会被去光阻液溶解
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