新闻资讯
保定标题：TFT-LCD的玻璃基板尺寸测量显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：272 发布日期：2026-04-21
大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：:
TFT-LCD的玻璃基板尺寸测量显微镜
制造设备的发展越快速，由于产品的成本的考量，致使TFT-LCD的玻璃基板尺寸越来越大
这导致微影图案的均匀性比从前更难控制。对1850 mm × 1500 mm之玻璃基板而言，
微影制程图案均匀性之差可达1um以上。在四道微影曝光制程中，
不佳的微影图案均匀性易使TFT的电极制作产生缺陷。经由多次实验及量测发现，光阻膜厚、曝光功率、显影时间、
软烤热板温度及软烤制程时间虽可改变微影制程图案的宽度，但不会改善整体图案的均匀性。
几经线上不断地实测后发现，若能合理地改善软烤热板的温度分佈，
则可使TFT-LCD整体微影图案的均匀性提升50%。