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保定标题：观察如纳米小的物体需使用电子显微镜来观察
所属分类：新闻资讯 点击次数：296 发布日期：2026-04-21
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观察如纳米小的物体需使用电子显微镜来观察
虽然扫描电流显微镜的解析度(resolution)为纳米等级，
但其技术于量测上却依旧存在多项因素的干扰，
其中包含了：量测时的不确定度、扫描速率与光扰效应(photoperturbation effect)等，
这些因素皆会影响量测分析进行时的準确性。为了得到更加的量测结果，
其中Φ为能障高度(barrier height)，不同的样品和材料决定了不同的Φ值。Vox为所施加于氧化层上的电压，
τox为氧化层的厚度，A为与等效质量m相关的常数。因此，我们可在不同偏压的情况下判断FWHM值是否也产生变化，
当施加偏压使得FWHM值有明显的变化后，接着再回复到较低偏压进行电流分布统计的量测，观测其FWHM值是否有所变化，
利用此法可判断所施加的偏压是否对量测试片产生破坏，倘若此偏压没有造成试片的破坏又可以观测出试片的电流分布变化，
即是一种较佳的非破坏性量测方式。而这个方法不仅可在扫描电流显微镜平臺上建立出新颖且迅速的闸极氧化层检测技术，
同时也可用来进行量测不确定度的判定，有助于量测进行时的準确性。