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保定标题：实验室电子扫描显微镜测量试片表面形貌的原理
所属分类：新闻资讯 点击次数：293 发布日期：2026-04-21
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电子扫描显微镜测量试片表面形貌的原理
扫描电流显微镜
扫探电流显微镜是一种以原子力显微镜(atomic force microscope)的架构
为基础并搭配电流-电压(I-V)量测技术的电性扫描探针显微镜，因此也具备了原子力显微镜的基本架构与功能。
所使用的扫描电流显微镜位于纳米元件实验室，以接触模式来进行扫描分析，
扫描电流显微镜的基本架构示意图，由图中可以得知其架构大致上包含探针、雷射光源、
光侦测器、压电陶瓷扫描器、回馈电路、讯号放大器、低频滤波器及讯号输出系统。
扫描电流显微镜取得样品表面形貌的原理与原子力显微镜的操作原理相近，
然而两者之间更大的差异是扫描电流显微镜选用了导电探针，
如表面镀上金属薄膜或导电钻石薄膜的探针，当导电探针与样品接触形成迴路，
扫描电流显微镜便可量取电流值，使得扫描电流显微镜可同步获取试片表面形貌与其对应的电流讯号影像。
一般而言，在扫描电流显微镜进行闸极氧化层量测时，会施予一偏压于试片底部，
透过针尖直径约为20纳米的导电探针撷取其电流讯号，由高电场导致氧化层崩溃(oxide break-down)而产生的漏电流，