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保定标题：光学式显微镜量测结果与理论值误差在7.5%内
所属分类：新闻资讯 点击次数：303 发布日期：2026-04-21
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光学式显微镜量测结果与理论值误差在7.5%内
光学式表面超音波激发与量测技术可应用于薄膜材料性质的量测，
是一种非接触与非破壤式的材料性质检测方法。
介绍光学式表面超音波激发与量测技术的应用需求、操作原理、实验架构并验证此架构的可行性。
实验架构上，超音波激发的部分采用脉衝雷射激发，量测部分则采用Mirau干涉显微镜。
实验结果表明，此实验架构确定可以收到具有频散效应的超音波讯号，并可应用于薄膜杨氏模数的量测。
以100μm不銹钢单层簿膜为试片，透过光学式超音波激发与侦测重複实验6次，量测结果与理论值误差在7.5%以内，
与接触式量测误差在18%以内比较，验证了Mirau干涉显微镜量测超音波的可行性，以及良好的重现性。