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昌乐标题：金相显微镜量测方式不受限于元件透光性-仪器常识
所属分类：新闻资讯 点击次数：341 发布日期：2026-04-21
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金相显微镜量测方式不受限于元件透光性
微V形微结构常应用于光学元件如液晶平面显示器的导光板，随着精微制造技术的应用，V形微结构的尺寸降至微米。
如何简易的检测模具与成形微结构的尺寸，包括特征高度、宽度与角度等，而不受限于结构材料与透光性，
便成为一项重要的课题。本研究探讨接触式表面轮廓仪用于下凹微V形结构量测的限制与对策，
首先提出以矽基非等向湿蚀刻，制作探针半径的校正治具，再推导扫瞄轮廓与实际V结构特征参数的转换公式。
表面轮廓仪为例，探针顶角45°，半径2 μm，可应用于底宽4 μm以上的V形微结构量测。
宽10 μm、顶角约54°的V形长沟模仁，与PMMA导光板特征成形转写率量测，并与扫瞄式电子显微镜与激光共轭焦显微镜的结果比较，
所提出的量测方式不受限于元件透光性，且不需破坏试片，量测高度误差在4%以下，具有快速与低成本的优势