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昌乐标题：表面轮廓仪怎样量测微小下凹特征-金相显微镜厂家
所属分类：新闻资讯 点击次数：343 发布日期：2026-04-21
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表面轮廓仪虽然无法直接量测微小下凹特征
表面轮廓仪虽然无法直接量测微小的下凹特征，藉由探针半径校正方式与V沟高度与宽度量测补偿机制，
可解决微米级下凹V沟的高度量测的问题，且不受试片透光性的影响，
量测结果与电子扫瞄显微镜或是共轭焦显微镜所能量测到的特征尺寸非常接近。
量测的结构宽度在5 μm与15 μm之间，探针半径2 μm、探针顶角45°的条件时，误差在4%左右，
验证此方法的实用性。限于V沟的深度量测补偿，若无法确认探针未接触到的部分特征可近似为V形时，
则不适用。但在应用于导光板V沟模具与成形精度量测时，此法将可提供一准确与实用的检测方式