FE-SEM仪器观察纳米大小的物体-体视显微镜厂商-老上光仪器厂

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所属分类：新闻资讯点击次数：3 发布日期：2026-04-19

大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：

用FE-SEM仪器观察，金属点的分布情况下讨论在成长金属点阵
是以直流溅镀白金以及热阻丝蒸镀铝的差异。

溅镀白金举离后以FE-SEM显微镜观察之照片。

可以看出在举离后，所留下的较暗的痕迹明显与奈米球举离前的六方最密堆积

之图案近似，且暗点中心间距与奈米球的大小接近，

因此可以判断较亮的部份为白金膜，只是白金膜彼此相连并未成岛状分布图案。

相较于的蒸镀铝膜举离后的结果，可明显看出深色圆形图案与奈米球原先的

大小及分布均相同，较亮的部份则为举离后留下了的铝膜，呈现近似三角形的点

状阵列。此两种结果的不同，可能的原因是溅镀是在较高的压力下(约50 mTorr) ，

粒子的平均自由径较短，因此金属原子容易因相互碰撞而扩散，

以致于奈米球无法有效作为遮罩遮蔽金属原子，因此镀上的白金彼此相连，

举离后无法留下岛状阵列。而在蒸镀中，压力小于10-5 Torr，平均自由径可长达

数十cm，因此奈米球可成功的遮蔽金属原子，而镀上铝膜可成功的留下与理论所

预期相同的金属点阵列。不过对于举离前的奈米球完整区域，

在举离后留下的规则金属点阵列区域不如预期的多，

在这一方面的实验需要更进一步的努力空间

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