以OM光学以及SEM电子显微镜观察纳米金属点-老上光仪器厂

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所属分类：新闻资讯点击次数：1 发布日期：2026-04-19

大家好，这里是老上光显微镜知识课堂，在这里你可以学到所有关于显微镜知识，好的，请看下面文章：

以OM光学以及SEM电子显微镜观察纳米金属点的分布

应用奈米球微影术(Nanosphere Lithography；NSL)，是利用奈米球排列出二维

平面的球阵列当作一种遮罩，于遮罩上镀上金属薄膜，经由举离后，观察其留下

之金属点阵列。实验上主要分成四个部份：

(1)矽基座的清洗。

(2)奈米球微影术应用于奈米金属粒子结构的制作。

在实验中，探讨以PS奈米球为主要材料，在矽基座上以旋转涂布的方式制作完整

且排列有序的单层奈米球遮罩。在制作奈米球阵列的过程中，

试着改变PS奈米球与乙醇的比例，进一步观察奈米球阵列的排列性。

(3)在镀金属膜的方式上，采用溅镀与蒸镀两种方式。

(4)最后，将矽基座浸泡于二氯甲烷经由震荡举离，

以移除奈米球得到奈米金属点阵列

样品制备:

1. 矽基座清洗 :

（硫酸H2O2）震荡30分钟→DI water震荡10分钟→丙酮震荡15分钟→

DI water震荡10分钟→无水酒精15分钟

2. 奈米球混合液调配：

由奈米球悬浮液与乙醇以体积比1:11稀释而成

3.将奈米球混合液涂布在矽基座上，涂布机转速为750 ~ 1750 rpm，

时间为 30 ~ 70 秒。

4.基座镀膜：

(1)溅镀白金1800Å (2)蒸镀铝1800Å

5.以OM光学显微镜、SEM显微镜、FE-SEM显微镜等仪器扫描矽基座借以观察奈米球的排列情形。

6.将基座浸泡于二氯甲烷并超音波震荡5 ~ 25秒，移除奈米球。

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