AFM电子显微镜是可用来量测微,纳米级微结构
所属分类：新闻资讯 点击次数：14 发布日期：2026-04-20
网站网友点击量更高的文献目录排行榜：
点此链接
0
AFM电子显微镜是可用来量测微,纳米级微结构AFM是可用来量测微、奈米级微结构，但是当CD尺寸小于100 nm时，AFM探针之与外形也是在这个尺度，量测时，因AFM探针外形与奈米结构会有几何外形干涉问题，无法确切量测出奈米结构形貌，造成量测尺寸的误判。量测时，以探针分别量测物体两侧形貌尺寸，两侧形貌之间距，减去已知探针之轮廓，则可估算出真实试片之轮廓形状或线宽值，本研究提出一种创新的半导体奈米结构量测方法，采用双倾斜之AFM扫描量测，将两次倾斜后之扫描影像，以影像叠合技术，配合探针尺寸修正，即可克服原本被干涉而无法量测区域转变为可量测到的区域，以正确地量测出半导体CD尺寸，应用于线宽量测的估算量测不确定度为3.18 nm。 100 nm以下线宽量测方法 量测100 nm以下线宽时，使用CNT(奈米探管)-AFM单向扫描二次方法，以AFM量测试片后，得到扫描图像，将试片旋转180度，同样再扫描一次后，以影像叠合技术将二次扫描结果组合，便可得到待测件真实轮廓。此方法会碰到的问题为奈米工件非常细微，经旋转180度后，很难再找到同样位置进行量测，会造影像叠合技术之组合误差。
关注页面底部公众号，开通以下权限：
一、获得问题咨询权限。
二、获得工程师维修技术指导。
三、获得软件工程师在线指导
toupview,imageview,OLD-SG等软件技术支持。
四、请使用微信扫描首页底部官方账号！
相关新闻
- 标题：显微镜 数位像机连接方式: [2026-04-21]
- 标题：日2011本工业零组件进口需求以每年30%的成长幅度 [2026-04-21]
- 标题：北京上光仪器有限公司产品保固与维修保养服务 [2026-04-21]
- 标题：萤光抗体直接法可应用于任何抗原的物质 [2026-04-21]
- 标题：靡全球的 Leica MZFL III 萤光实体显微镜已功成身退 [2026-04-21]
- 标题：实验观察课-是显微镜的观察，一开始都不会找目标 [2026-04-21]
