诏安试样表面的清洁和机械损伤微观分析电子显微镜
所属分类：新闻资讯 点击次数：7 发布日期：2026-04-20
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试样表面的清洁和机械损伤微观分析电子显微镜在扫描电镜的正常观察条件下，其扫描电子像(包括二次电子像，背反射电子像或吸收电子像)所显示的衬度效应主要有三种，即表面形貌衬度，原子序数衬度和表面电场和磁场所贡献的衬度。但是，在特殊的光路条件下(例如在满足观察电子通道效应的电子束的电子光学条件下)，则所获得的扫描电子像，除了能显示上述衬度效应外，还包括有反映晶体位向和晶体缺陷的衬度，这种反映晶体位向和晶体缺陷的衬度，称为结晶学衬度。 理论分析表明，结晶学衬度是来源于电子通道效应。在第二章中曾经指出，当高能电子进入到晶体试样时，由于入射电子与晶格中原子相互作用，将会发生散射过程。但是，入射电子被晶格中原子的散射几率是同电子束的入射方向有关，在入射角小于衍射角的情况下，被背反射的几率较大；反之，在入射角大于衍射角的情况下，被背散射的几率较小，这种现象称为电子通道效应。在满足通道电子束的观察条件下，如果电子束的入射方向的变化范围比较大对试样要求 因为电子通道效应是发生在接近试样的表面，故试样表面的清洁和不受机械损伤是十分重要的。经验表明，只有在晶体的外延层和晶体生长的表面，或经过仔细化学抛光和电解抛光的试样表面，且表面清洁无沾污，才容易观察到结晶学衬度。如果试样表面存在如下情况：(o)表面被污染；(b)表面受机械加工；(c)表面是非晶态； (d)表面晶粒度过于细小，使能完全满足上述的电子光学条件，也观察不到结晶学衬度。
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