产品描述
无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于高效检测高精度平面，是公司最新推出的力作。该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的测量精度PV和测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、国防、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。
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