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半导体晶圆显微镜JX-23B

商品编号:

产品品牌:(8*8英寸17*12英寸)

产品类型:晶圆检测

产品颜色:白色

点击次数:249

上架时间:2022-04-15

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产品描述

JX系列大工作平台半导体检查显微镜,采用研究级显微镜R照明系统和光学系统,人机工程学设计全面提升,照明均匀,成像清晰,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。突破性的大金相机架设计,支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场

观察筒

30°倾斜

正像,无限远铰链式三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调

物镜

无限远平场物镜 5X、10X、20X、50X、100X

转换器

内倾五孔转换器

调焦机构

粗微动同轴调焦,行程 29mm

微动 0.002mm/ 格,0.2mm/ 圈; 

载物台

8英寸三层机械移动平台:

移动范围:200mm×200mm

带离合手抦可实现快速移动

17×12英寸机械移动平台:

移动范围:430mm×305mm;

带离合手抦可实现快速移动


低手位X、Y方向同轴调节;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;玻璃载物台板,(反射用)

晶圆辅助台

选配

反射照明系统

明场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;检偏和起偏装置

摄影摄像

1X摄像接筒,C型接口


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