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光学制造条纹不能称为光学要素分析仪器
所属分类:显微镜百科 点击次数:686 发布日期:2022-06-20
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光学制造条纹不能称为光学要素分析仪器 干涉仪 在众多类型的干涉仪中.斐索干涉仪已成为光学制造领域典型的干涉仪。在过去的几十年中,商业测量仪器取得了巨大的进步,包括相位测量仪器、球面参考测量、条纹计数距离测量、数字成像测量以及测量分析软件。角度和长度测量可以进行特定仪器的集成,比如拼接测量算法拓宽了数值孔径、尺寸和非球面偏离量的限制。 事实上.测量的基础并没有改变,但通常会被误解:每个光学技师都认为“一个条纹为半个波长”,这种说法既不能称作对.也不能称作错,只是不全面。当被测表面的面形发生了半个波长的变化.测试波前传播的物理距离包括入射和出射。那么在干涉平面上的累积光程差就为一个波长.其表现为一个干涉条纹变化。因此,当使用商业干涉仪测量时,必须使用正确的比例因子。 一个条纹间距总是代表干涉平面的一个波长的光程差。 条纹不能称为光学要素(组分).它只是两束波前经过不同光程的干涉现象。 这一点主要是为了说明.并不是每个测试装置垂直入射时在返回干涉平面之前都会两次经过被测面(或折射波前)。因此,我们必须对光学路径进行追踪.计算在每个相遇点的光程差,然后计算出光程差对应的条纹数。 虽然峰谷值(PV)的测量和这一测量参数仍然是最常见和更好理解的,但是它们并不能与光学性能很好地联系起来,主要是其没考虑到倾斜误差或者整个被影响区域。 干涉装置 下面是利用斐索干涉仪的常见测量装置的范例,其中彩色部分是被测项,其左侧是斐索干涉仪的透射参考表面。
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