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蚀刻轮廓测量仪-精密加工计量仪器
所属分类：显微镜百科 点击次数：150 发布日期：2022-06-20
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蚀刻轮廓测量仪-精密加工计量仪器 如不考虑溶解度极限和热动力学平衡，则可以用任何元素通过离子注人来生产任何特殊需要的掺杂分布(或为被埋人的分布)。因此，离子注入是研究和开发新产品的有用工具。可是，离子注入机和相关的光刻设备是半导体生产线更大的投资。 离子注入的一个缺点是外来溅射产物对硅片所造成的污染。加速的离子束对孔径和仪器内部的部件有相当大的溅射作用。因此，不希望杂质沉积在单晶硅片上。一个解决的方法是，重新设计离子束的轨迹使所有离子束能碰到的物体必须由高纯硅来制造 蚀刻(薄膜去除) 蚀刻技术仍为在浸槽中对尺寸小于3ttm的结构进行湿式化学蚀刻。非晶态，多晶体和单晶体材料的湿式化学蚀刻基本上是各向同性的，即蚀刻在所有方向均匀进行。这种湿式化学蚀刻在抗蚀剂掩模上形成的蚀刻轮廓为球形孔洞。这一方法需要对蚀刻参数和时间进行精密控制，以使部分涂有抗蚀剂的晶片表面优先处于既不过蚀刻也不欠蚀刻的状况。随着结构尺寸的日益减小，进一步维持湿式化学蚀刻方法的这种优势变得日益困难，当结构尺寸小于2μm时，湿式化学蚀刻方法已被定向的干式化学蚀刻方法所代替。 在具有大的粒子自由路程的空气稀薄环境中，可以在一个优先方向上使用静电加速离子，对晶片表面进行各向异性的蚀刻。
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