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表面微观形貌超精密制造技术的发展和制造
所属分类：显微镜百科 点击次数：192 发布日期：2022-06-20
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表面微观形貌超精密制造技术的发展和制造 目前，纳米机械加工的表面精度已经达到纳米量级，对零件表面质量的测量与评价显得尤其重要。不同的超精密加工方法所获得的表面几何质量分布是不同的，同一光滑表面使用不同测量仪器所得到的结果也是不同的，零件的使用与其表面几何质量也同样有极大的相干性，而不同的评价方法和表征参数也对表面质量的评定结果有一定的影响。 随着超精密制造技术的发展和制造方法的多样性，超精密纳米机械加工表面测量与评价技术将成为制造业的研究热点，由于AFM仪器具有的三维纳米表面特征测量的优异性能，是最适用于测量超光滑纳米加工表面微观形貌的仪器， 对测量结果和对表面形貌的描述也最为。但是，目前尚没有纳米级表面测量的国际标准及其相关的取样长度、评定长度的定义，为此，未来技术发展中必须建立纳米机械加工的表面测量标准，以便适应纳米表面检测的新需求，并在AFM测量软件中进行标准的更新和定义。
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